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技術資料
コロナ放電を利用した表面電位測定によるDLC膜の電気的特性評価
コロナサーフを用いてイオン化蒸着法により成膜されたDLC膜を測定。電荷を付与する前後の表面電位を測定することにより、DLC膜の帯電特性を評価した結果を報告。
ファイル名
サイズ
corona_DLC.pdf
495.71 KB
添付ファイル数1
カテゴリー別
DLC被膜
(1)
セルテスN-S
(1)
ハンドブック
(1)